有效測(cè)量行程(X軸(zhóu)×Y軸(zhóu)) :300 mm×200 mm
Z軸調(diào)焦升降範(fàn)圍:≤200mm
分辨率:0.001mm
X、Y軸(zhóu)線(xiàn)性精度:U≤( 3+L/200 )μm
載(zài)物台尺寸:445mm×345mm
玻璃台尺寸:330 mm×230 mm
承載(zài)重量:≤25 kg
影像系統(tǒng):美國(guó)TEO高分辨率1/3"彩色CCD
物鏡(jìng):可連續變(biàn)倍光學放大倍率0.7×-4.5×
影像放大倍率:20-225×,

光栅尺:高精度精密光栅尺,分辨率1um
照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均爲LED,亮度可調(diào)
傳(chuán)動方式:精密無牙傳(chuán)動+P級交叉導(dǎo)軌
操作方式:搖(yáo)杆手柄、鼠标拖運(yùn)、
主機(jī)外形尺寸:700 mm×470mm×950 mm
機(jī)台底座、工作台、Z軸立柱:高精度花崗(gǎng)岩
儀(yí)器總重:約(yuē)150 kg
量測(cè)軟件:光學視覺(jué)精密測(cè)量測(cè)軟件
數據(jù)輸出:測(cè)量數據(jù)Word(doc)、Excel(xls)